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CTRE NAT DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE · Grenoble (38)
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Télécharger la synthèse PDF ↓Le nouvel équipement doit permettre la reconstruction 3D de profils de dimensions latérales micrométrique et de dimensions verticales sub micrométriques et micrométriques, avec une haute résolution en z (sub 20 nm à fort grossissement) ainsi que de mesurer de la nano topographie et de la rugosité sub 100nm par interférométrie sur de grands champs.
Le nouvel équipement doit ainsi permettre la reconstruction 3D de profils de dimensions latérales micrométrique et de dimensions verticales sub micrométriques et micrométriques, avec une haute résolution en z (sub 20 nm à fort grossissement) ainsi que de mesurer de la nano topographie et de la rugosité sub 100nm par interférométrie sur de grands champs.
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